独自のフィゾー型レーザー干渉計｜Akion

超小型4インチ フィゾー型レーザー干渉計。
6倍ズーム機構採用ハイクオリティーマシーン

測定口径	4inch(100mm)	外形寸法	W340xD190xH260 mm
光源	He-Neレーザー（633nm）	質量	約14kg
倍率	1倍 〜 6倍（手動ズーム）	センサー	標準：640 × 480pixel
基準レンズ（参照球面） 精度	λ/20	電源	AC100V 50/60Hz 1A

(※)センサーはご要望により３Mpixelに変更可能です

 

 

超小型 4インチ フィゾー型レーザー干渉計システム。
6倍ズーム機構採用ハイクオリティーマシーン。
干渉計上置き縦型タイプを基本としておりますが、干渉計下置き縦型タイプ、又は干渉計横型タイプも製作可能です。

測定口径	4inch (100mm)	測定ストローク	標準：約600mm （特注：約800mm）
光源	He-Neレーザー(633nm)	サンプル設置台	Φ120mm
倍率	1倍 〜 6倍 （手動ズーム）	サンプル調整	5軸ステージ （α,β-tilt,x,y,z-shift）
基準レンズ（参照球面） 精度	λ/20	設置容積（除振台含む）	W1000xD900xH2000mm

（※）除振台は卓上アクティブ除振台に変更可能です
（※）測定ストローク長はレンズ設置治具高さ分を含んでおりません
（※）設置容積はPCラックを含んでおりません

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超小型 4インチ フィゾー型レーザー干渉計。
6倍ズーム機構採用ハイクオリティーマシーン。
ニュートンチェッカーとしてスタンドの剛性・安定性を高め、干渉計本体を下部に配置したモデル。

測定口径	4inch (100mm)	測定ストローク	標準：約600mm （特注：約800mm）
光源	He-Neレーザー(633nm)	サンプル設置台	Φ120mm
倍率	1倍 〜 6倍 （手動ズーム）	サンプル調整	3軸ステージ （x,y,z-shift）
基準レンズ（参照球面） 精度	λ/20	設置容積	W400xD400xH1200mm

（※）測定ストローク長はレンズ設置治具高さ分を含んでおりません

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超小型６インチ フィゾー型レーザー干渉計。
6倍ズーム機構採用ハイクオリティーマシーン

測定口径	6inch (150mm)	外寸法	W758xD316xH316mm
光源	He-Neレーザー(633nm)	質量	約42kg
倍率	1倍 〜 6倍（手動ズーム）	センサー	標準：640 × 480pixel
基準平面（参照平面） 精度	λ/20	電源	AC100V  50/60Hz 1A

（※）高密度センサーご要望の場合は別途ご相談ください

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超小型 6インチ フィゾー型レーザー干渉計。
6倍ズーム機構採用ハイクオリティーマシーン。
平板ガラス、ミラー、ウェハーなどの平面面精度測定システム。
縦型（左図）、又はX-box型（右図：９０°折り返し）のいずれかで提供可能です。

測定口径	6inch (150mm)	基準平面（参照平面） 精度	λ/20
光源	He-Neレーザー（633nm）	サンプル調整	２軸ステージ（α,β-Tilt）
倍率	1倍 〜 6倍（手動ズーム）	設置容積（除振台含む）	W1500xD800xH1800mm

（※）設置面積は縦型システムの場合で、PCラックは含まれておりません

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超小型１.５インチ フィゾー型レーザー干渉計。
6倍ズーム機構採用ハイクオリティーマシーン

測定口径	1.5inch (38mm)	外寸法	W121xD127xH248 mm
光源	He-Neレーザー	質量	約4.5kg
倍率	1倍 〜 6倍（手動ズーム）	センサー	標準：640 × 480pixel
基準レンズ（参照球面） 面精度	λ/10	電源	AC100V 50/60Hz 1A

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超小型 1.5インチ フィゾー型レーザー干渉計。
6倍ズーム機構採用ハイクオリティーマシーン
縦型_下向き（左図）、又は縦型_上向き（右図）の両方で提供可能です。

測定口径	1.5inch (38mm)	測定ストローク	標準:約300mm （特注：約600mm）
光源	He-Neレーザー（633nm）	サンプル設置台	60x60mm
倍率	1倍 〜 6倍 （手動ズーム）	サンプル調整	5軸ステージ （α,β-tilt,x,y,z-shift）
基準レンズ（参照球面） 面精度	λ/10	設置容積（除振台除く）	W250xD250xH800mm

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